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FFU的歷史及其性能

發(fā)布日期:2014-09-13  點擊量:11401

1. FFU的歷史
  早在二十世紀六十年代,第一個層流室的建立就已經開始出現FFU的應用了。但直到1984年,在亞洲才出現大規(guī)模應用FFU的事例(大約有5000臺)。是什么原因導致FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發(fā)展呢?
有三個問題占主導地位。
  第一:噪聲問題。各位可以想一想,在當時的生產工藝水平下,5000臺風機在一起的噪聲會是多大呢?
  第二:壓力平衡。在很大的靜壓箱里,每一個不同角落的風機是否能得到均衡的壓力,這在當時也是不能夠得到保證的。
  第三:維護問題。FFU本身造價就比較高,如果它的電機壽命不能保證的話,更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。
  但是這一切,在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制,大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下,這符合工業(yè)廠房的標準。其次隨著自動控制的發(fā)展,監(jiān)測和調節(jié)各個角落的靜壓也變得容易起來。最后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。
  現在,隨著半導體電子技術的發(fā)展,越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級?! ?第一、靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
  第二、可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
  第三、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
  第四、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
  第五、減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節(jié)能、免維護等特點。
 用大循環(huán)減少40%的運行成本。

2. FFU及其性能
  FFU是FAN FILTER UNIT的縮寫,中文稱作“風機過濾器單元”也就是將風機和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在 一起構成自身能提供動力的末端凈化設備。過去在潔凈工程中常用的帶風機的高效過濾器的送風口,自凈器,層流罩等都是FFU的一種 。不過,現在所說的FFU是具有標準模數尺寸,能按模數組合起來實現1級、10級、100級、1000級等不同級別的潔凈室的凈 化單元設備。目前,國內、外常用的模數有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。
  FFU一般由以下四部分組成:風機、過濾器、機殼、電器控制元件。

3. FFU的應用
 3.1適應性
 3.2經濟性
 3.3風量和余壓
 3.4噪聲
 3.5控制
 3.6維護管理

4. FFU節(jié)能分析
 4.1 節(jié)能分析:
 ?、?由于采用HH---F系統(tǒng)后,能使FFU在滿足潔凈要求的最低風速運行,使FFU運行時的風機能耗降低
  ② 由于采用HH---F系統(tǒng)后,能使FFU在滿足潔凈要求的最低風速運行,減小了電機發(fā)熱,使?jié)崈羰?
   的冷負荷有效降低
  電機參數: HP1/5  AC230 PH1 RPM1075
通過實測,我們發(fā)現,HH-F系統(tǒng)在保證潔凈度要求的前提下對FFU風機進行調速,風速平均每降低0.02m/s,電機能耗降低10W左右,節(jié)能效果顯著。
 4.2 延長FFU壽命的分析:
  采用HH---F系統(tǒng)能延長FFU的使用壽命,主要體現在二個方面:
 ?、?延長過濾器的使用壽命 由于采用HH---F系統(tǒng)后,能使FFU在滿足潔凈要求的最低風速運行,從而
   使通過FFU的風量達到最小,所以延長了過濾器的使用壽命
 ?、?延長電機的使用壽命 實驗證明當電機的工作溫度超過電機的最高充許溫度時,每升高8-10℃電
   機絕緣的壽命就要降低一半。電機絕緣的老化,會引起電機匝間短路,從而使電機完全報廢。使
   用HH-F系統(tǒng),能使FFU的電機在工作時發(fā)熱明顯減小?! ?
 4.3 節(jié)約線纜分析:
  由于采用HH-F集散型智能控制系統(tǒng),各個FFU的起停、調速全部由網絡指令控制,不必為每一臺
FFU設置單獨的動力線路與控制線路,全部FFU使用一條統(tǒng)一的電源線,一條統(tǒng)一的系統(tǒng)總線即可。大大
降低了系統(tǒng)布線的投資及工作量。

5. FFU的選擇
 5.1試驗方法和試驗裝置
 5.2結果分析
 ?。?)FU機組內的高效過濾器的初阻力均不相同,大約在120—150Pa之間。
 ?。?)當高效過濾器為初阻力,且保證FFU送風斷面風速為0.35m/s時,不同FFU的機外余壓均在100Pa左右,有的高達 130Pa。
     當FFU送風斷面風速為0.45m/s時,各機組的機外余壓,都能在60Pa以上。
     當FFU送風斷面風速為0.45m/s時,被測的FFU的機外余壓都是足以克服循環(huán)通道上的阻力。
   (3)FFU的聲壓級噪聲大多在57dB(A)~59dB(A)之間。比較好的品牌其噪聲在54dB(A)。
   (4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160~180W,只有個別品牌的能耗大,高達350W是一般能耗的一倍.

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