化學(xué)過濾器
針對不同使用環(huán)境的化學(xué)過濾器
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，不僅微小的顆粒甚至是極其微量的化學(xué)污染也會降低產(chǎn)品的合格率。
因此，半導(dǎo)企業(yè)通過安裝高效率的化學(xué)過濾器，實(shí)現(xiàn)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。
我司生產(chǎn)的化學(xué)過濾器，能夠有效地去除半導(dǎo)體工廠中的AMCs物質(zhì)。
AMCsAirbome molecular contamination ) 是半導(dǎo)體生產(chǎn)當(dāng)中各種化學(xué)污染物質(zhì)的統(tǒng)稱（有機(jī)，堿性，酸性氣體）。
特點(diǎn)：
1．去除效率高達(dá)90%以上
2．使用壽命長
3．精良的制造技術(shù)，安裝方便
4．一條龍服務(wù)（從附著劑加添，產(chǎn)品組裝到安裝）
5．可以按照客戶的要求設(shè)計(jì)過濾器
適用范圍：
1．半導(dǎo)體，LCD等超精密制造工藝
2．惡臭以及有害氣體容易產(chǎn)生的地方
3．醫(yī)院，博物館公共場所等對空氣環(huán)境要求高的場所
主要產(chǎn)品：
1．● CAFILDEX? PL系列
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規(guī)格 |
CAFILDEX PL系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
610*610*150T (接受非標(biāo)定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 2.5 |
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差壓(mmAq) |
~ 15.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附劑 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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適用對象 |
FFU, EFU, MAU, RAU |
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目標(biāo)氣體 |
NH3, tAcid, VOCs |
2．● CAFILDEX? TY系列
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規(guī)格 |
CAFILDEX TY系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
610*610*450T (接受非標(biāo)定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 2.5 |
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差壓(mmAq) |
~ 15.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附劑 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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適用對象 |
MAU, RAU |
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目標(biāo)氣體 |
NH3, tAcid, VOCs |
3．● CAFILDEX? CE 系列
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規(guī)格 |
CAFILDEX? CE系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
572*1167*55T (接受非標(biāo)定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 0.45 |
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差壓(mmAq) |
~ 3.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA, 吸附劑 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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適用對象 |
FFU, EFU, MAU, RAU |
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目標(biāo)氣體 |
NH3, tAcid, VOCs |
4．● CAFILDEX? BT 系列
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規(guī)格 |
CAFILDEX BT系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
640*640*470 (接受非標(biāo)定做) |
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效率(%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 0.45 |
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差壓(mmAq) |
~ 3.0 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附劑 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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適用對象 |
FFU |
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目標(biāo)氣體 |
NH3, tAcid, VOCs |
5
● CAFILDEX? SW系列
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規(guī)格 |
CAFILDEX SW系列 |
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大小 (W*L*D/mm) |
610*610*200T (接受非標(biāo)定做) |
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效率 (%) |
< 90 |
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速度 (m/s) |
~ 2.5 |
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差壓(mmAq) |
~ 15 |
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媒介 |
IER, IAC, IA,吸附劑 |
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框架 |
AL, GI, SUS |
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適用對象 |
FFU, EFU, MAU, RAU |
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目標(biāo)氣體 |
NH3, tAcid, VOCs |
