半導(dǎo)體工業(yè)空氣過(guò)濾器
粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響 產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今，半導(dǎo)體工業(yè)（芯片廠）對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈程度最挑剔，對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也最苛刻。
衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”，即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計(jì)算線寬的年代，人們說(shuō)制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成了 1/4、1/2。2002年，普通微機(jī)中P4處理器的線寬縮小到了 0.13/^1，此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過(guò)時(shí)了。
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車間的整個(gè)頂棚上布 滿高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。現(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度，只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異。
不論是普通高效過(guò)濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過(guò)逐臺(tái)掃描測(cè)試。國(guó)內(nèi)目前沒(méi)有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)，能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行掃描測(cè)試的。芯片廠的人認(rèn)為， 過(guò)濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的賬。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工I的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
20世紀(jì)90年代初，國(guó)外曾對(duì)髙效過(guò)濾器玻纖濾紙的含硼問(wèn) 題爭(zhēng)吵了一陣，隨后，過(guò)濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。近幾年，國(guó)外出現(xiàn)了聚0氟乙烯纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它是帶靜電的“駐極體”，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離子。
目前這種材料的價(jià)格偏高，大部分過(guò)濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過(guò) 濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘接劑和清洗劑，為芯片 廠供貨的過(guò)濾器廠商要在這上面下些功夫。
當(dāng)今的過(guò)濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達(dá)到。當(dāng)芯片上的線寬小到0.5^m時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，在線寬 小于0.5^的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。化學(xué)過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜，它就是活性炭過(guò)濾器，但傳統(tǒng) 的活性炭過(guò)濾器制造廠和軍工廠沒(méi)有搭上芯片廠這班車，芯片廠的化學(xué)過(guò)濾器大都是空調(diào)過(guò)濾器的制造廠家提供的。
化學(xué)污染物的來(lái)源可能是：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類和濃度，因此，為他們提供的化學(xué)過(guò)濾器至少應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對(duì)什么都 能多少吸附些，能有這種功能的材料就是最普通、最便宜的顆粒活性炭。如果能確定污染物種類，就可以對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針 對(duì)性的化學(xué)處理，以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應(yīng) 商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù)，以幫助用戶確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的專家，并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。遺憾的是，國(guó)內(nèi)過(guò)濾器廠商沒(méi)有幾家在那上面下功夫，所以國(guó)內(nèi)芯片廠目前使用的化學(xué)過(guò)濾器多數(shù)是進(jìn)口產(chǎn)品。
半導(dǎo)體工業(yè)并非人們普遍認(rèn)為的“無(wú)煙工業(yè)”，它也有環(huán)境 問(wèn)題。那里經(jīng)常采用最新的工藝和材料，有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評(píng)估前就已經(jīng)大量使用了，稍不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的 化學(xué)污染，既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就曾為此付出 過(guò)驚人的代價(jià)。為了保險(xiǎn)，有些企業(yè)在排風(fēng)系統(tǒng)中也使用化學(xué)過(guò)濾器。
中國(guó)正處在新一輪芯片廠建設(shè)的狂熱中，為此，今后幾年國(guó)內(nèi)需要數(shù)億元的高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器，如果國(guó)內(nèi)過(guò)濾器商家像以往那樣只熱衷于抄襲、猜疑、各顧各地瞎忙活，不在技術(shù)上進(jìn)取、不相互交流，芯片廠這個(gè)難得的市場(chǎng)將屬于外來(lái)者。
